簡易檢索 / 檢索結果

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    使用線性馬達研製長行程氣浮式奈米定位平台之精密定位研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 簡汶昇 指導教授: 修芳仲
    • 本研究旨在開發一長行程閉迴路奈米定位平台系統,此平台使用雙框架兩軸獨立驅動單移動台機構,其中平台底座由空氣軸承支撐,使平台與花崗岩基座呈現非接觸狀態,驅動方式則由ANCA 5DX驅動器與PC-Bas…
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